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MEMS技術の入門書です。MEMSデバイスの動作原理から製造プロセス,応用まで、わかりやすく説明しています。
表紙に軽いスレがあります。また、最終ページの上端の黒いマスク印(4X2cm)を白シールで覆っています。
これら以外は、きれいな状態で、ページに書き込みもありません。
○内容
「MEMS(micro electoro mechanical system)」や「シリコン・マイクロマシン」といったことばをよく耳にするようになりました.実際,この技術を応用したデバイスは,インク・ジェット・プリンタや自動車のエア・バッグ・システム,プロジェクタなど,さまざまな製品に搭載されています.小型,高精度,低消費電力という特徴を持つMEMSデバイスの応用分野は,今後さらに広がると期待されています.
本書は,MEMS技術の入門書であり,各種MEMSデバイスの動作原理や製造プロセス,応用について,わかりやすく説明しています.製造プロセスについては実際のMEMS工場の装置の写真を多用し,また応用については具体的な設計事例を紹介しています.
出版社 : CQ出版社
発売日 : 2004年12月1日
JAN : 9784789837163
ソフトカバー、 216ページ
サイズ : 23.5 x 18.5 x 1cm、 380g
定価 : 2,520円(税込) 現在、品切れ重版未定です。
目次は2,3枚目写真に
詳細はCQ出版社の以下のサイトをご覧ください。
https://www.cqpub.co.jp/hanbai/books/37/37161.htm
内容見本(一部の章)が見れます。
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同梱は可能なものは対応します。